2023年3月31日，日本政府宣布將限制23種半導體制造設備的出口。日本經濟產業大臣表示，7月開始將對六大類23種芯片制造設備的出口加以限制，涉及芯片的清潔、沉積、光刻、蝕刻等。可能受影響的日本企業包括尼康、東京電子等十余家。

 

此次的管制規則不包括對華設備出口中的非尖端產品。從用途來看，用于運算的邏輯芯片的管制標準是10～14納米以下的技術。

 

行業分析人士認為，盡管日本宣稱并未針對任何國家，但普遍被視為是在配合美國，通過出口管制措施以遏制中國制造先進芯片的能力。

——中方表示：破壞全球產業供應鏈，對日本的發展也不利

 

中國駐日本大使吳江浩表示，最近美方在半導體領域要求日本、荷蘭加入對華限制行列的消息傳得沸沸揚揚，如果屈從美國打壓，中日業界長期形成的產業鏈和彼此依存關系將受到巨大損害，日本半導體產業可能喪失中國這塊最大市場，自身發展的可持續性也將難以保障。

 

3月31日，外交部發言人毛寧主持例行記者會時表示：全球芯片產業鏈供應鏈的形成和發展是市場規律和企業選擇共同作用的結果，將經貿和科技問題政治化、工具化、武器化，人為破壞全球產業供應鏈的穩定，這種行為只會損人害己。Tokyo Electron在被列為管理品種的成膜設備中擁有很高的市占率，在該公司2021年度的銷售額中，中國占26％。同樣被認為屬于管制對象的「ArF液浸曝光設備」的生成企業尼康表示，2022年度銷售的5臺產品中「至少有1臺面向中國」。

 

《讀賣新聞》認為，有很多日本半導體制造設備主要是向中國出口，所以十分擔心政策對今后業績的影響。日本丸紅中國經濟研究所主管鈴木貴元的分析稱，鑒于日本國內芯片市場需求不夠強勁，政府的措施將對日本設備制造商造成打擊，損害日本企業的市場發展，在監管層面上也必然會降低日本企業的競爭力。

 

作為日本最大的芯片制造設備供應商，東京電子的產品可能面臨出口限制。制造半導體清潔設備的Screen Holdings公司發言人稱，該公司將審查出口公告相關內容，并遵循指導。上述措施也可能打擊到尼康，該公司生產用于制造高級芯片的光刻設備，預計其掃描儀產品將受到出口管制。尼康發言人表示，公司仍在研究影響，并將“按照決定的規則行事”。

 

英國《金融時報》稱，限制設備出口對企業的影響范圍將超出預期。此前的預估表明主要受到影響的是東京電子和尼康，但知情人士認為真正受到影響的公司至少有10家，包括Screen Holdings和愛德萬。

 

——韓國的借鑒：替代方案與“國產化”突破

 

2019年7月，日本政府宣布對出口韓國的半導體工業材料加強審查和管控，并將韓國排除在貿易“白色清單”以外，具體針對出口到韓國的高純度氟化氫、氟化聚酰亞胺，以及光刻膠等3種先進化學品，對這些化學品實施嚴格的出口管制。

面臨進口高端電子化學品出口管制后的韓企，隨即開展了國產化的嘗試。2019年11月。SK Materials成立了相關材料的研發中心，成功開發出基于三氟化氮（NF3）技術的氣態氟化氫原型，這給韓國半導體產業帶來了很大的信心，隨后SK Materials在韓國慶尚北道的榮州工廠，設置了年產量15公噸規模的生產設備。從2019年的11月到2020年6月，SK Materials一直與客戶進行測試，最終實現批量生產。

 

2020年，韓國從日本進口的氟化氫金額約為938萬美元，與上一年的3630萬美元相比，下降了74.2%。日本在氟化氫進口總量中所占的份額從2019年的32.2%下降至12.8%。另據韓國海關的進出口貿易統計，2020年韓國進口的日本氟化氫數量為4942噸，與2019年的19835噸相比，減少了75%。

 

在日本實施出口管制后，韓國通過加快本土氟化氫產業競爭力的增強，減少了對日本的依賴。三星投資的化學品公司Soul brain通過增加高純度氫氟酸的生產，為穩定供應鏈做出了貢獻，SK材料也成功地量產了高純度氟化氫氣體產品。韓國貿易協會發布的數據顯示，韓國從日本進口的氟化氫量自2019年6月的3026噸到8月份下降至零，并從同年12月恢復從日本進口，至793噸，但此后表現趨緩，2020年月均進口僅為400噸左右。另外，從中國臺灣的氟化氫進口量盡管因日本政策而一度激增，但在2020年也同比減少了54%。

 

三星電子投資的Soul Brain宣布，已開始供應與日本企業相同水平的超高純度氟化氫；SK Materials也已開始批量生產用于半導體制造的氟化氫。同時，應韓國政府的要求，三星和SK海力士都在部分生產過程中導入了本國產品。

 

報道指出，韓國加速氟化氫自產自銷的行動讓兩家日本公司受到重創。數據顯示，氟化氫巨頭Stella Chemifa和森田化學工業（大阪）對韓國的年出口額減少約60億日元。在截至2020年3月的財政年度中，Stella Chemifa面向半導體和液晶顯示器的氟化氫出貨量減少了26％。森田化學則表示，“將通過增加對韓國以外地區的供貨來彌補損失的份額。”

 

光刻膠方面，盡管大多韓企以失敗告終，但去年也有諸如東進半導體成功開發出EUV光刻膠等突破。此外，其他材料方面，韓國也有尋找他國供應商傾向，以硅片為例，今年1月，韓國從中、日進口硅片金額已經相當，但多以6、8英寸為主。

 

亞化咨詢的研究顯示，韓國因日本政府的出口管制措施加大投資研發，高端材料和設備的“國產化”進程進步明顯。

 

2023年3月7日，日本政府為了解除對韓國的出口管理強化措施已啟動協調。韓國政府3月6日宣布，中斷在日本實施出口管理強化措施之后推動的世界貿易組織（WTO）爭端解決程序。日本經濟產業省鑒于這一點，宣布將在近期與韓國舉行局長級對話。隨著起訴的中斷，雙方已具備重啟磋商的環境。

 

對于此次日本對中國的設備出口管制，在3月31日的華為2022年年度報告會上，華為輪值董事長徐直軍表示，中國情況不太一樣，“我們有大量的設備，自己也開始制造，所以日本無法達到對韓國那樣的效果。” 徐直軍稱，“對于中國半導體產業而言，這幾年不斷受到制裁，但產業不會坐以待斃，肯定會自救、自立、自強，華為支持半導體產業界所有相關活動，相信中國半導體產業會在制裁中重生，真正實現自立、自強。”

 

——潛在影響與分析

 

此外，有業內人士也擔心，日本的下一步是什么？會不會對日本在全球更具產業優勢地位的半導體硅片和電子化學品也實施出口管制？又將帶來哪些影響？

 

亞化咨詢認為，如果日本對出口到中國的先進設備與材料實施管制，可能會有以下影響：

 

首先，對日本的相關出口行業產生負面影響，尤其是那些依賴中國市場的企業。特別是在短期內可能會導致這些企業的銷售額和利潤下降。數據顯示，2022年第四季度，日本對中國的此類設備出口額同比下降16%，而美國下降50%，荷蘭下降44%，已出現明顯下滑。

 

其次，如果不能從日本獲得必要的材料和技術，短期內中國的半導體晶圓制造企業可能會有短暫的不利影響，這可能會導致部分中國半導體生產線產能和產量減少，同時在先進制程上的突破進一步放緩。

 

但中長期來看，如果中國無法從日本獲得必要的半導體設備和材料，會加速發展本國的相關產業，以國家大基金為代表的資本會不斷投入相關企業，從而彌補日本進口減少的那部分，最終更快實現替代方案與“國產化”突破。

 

晶圓制造是當今工業制造皇冠上的明珠，高純度濕電子化學品是晶圓制造過程中清洗、光刻、蝕刻等工藝流程的必備材料，也應用于后端的封裝測試環節。SEMI預計2022年中國半導體用濕電子化學品市場規模為4.28億美元，同比增長14.13%。

 

電子氣體是半導體制造、顯示制造等產業的主要耗材之一，是中國戰略性新興產業發展中必不可少的關鍵支持材料。近年來中國本土氣體企業如派瑞特氣、華特氣體、南大光電等的部分產品已經進入國內外先進晶圓廠中。SEMI預計2022年國內電子氣體市場規模可達11.13億美元，同比增長14.15%。

 

未來三年將是中國半導體制造產業高速發展期，中芯國際、華虹宏力、長江存儲、長鑫存儲等企業加速擴產，格科微、鼎泰匠芯、華潤微等企業布局的多條8/12英寸晶圓生產線也將陸續投產，這將帶動國內高于全球濕電子化學品與電子氣體的需求增速。半導體電子化學品及氣體將迎來空前發展機遇。

 

此外，清洗與拋光、濕法刻蝕及光刻顯影、去膠等步驟需要濕法制程設備。以半導體清洗設備為例，根據亞化咨詢預測，2025年全球市場將達近41億美元，此外，清洗設備的國產化率僅在20%左右。未來國內濕制程設備將迎來廣闊機遇。