一、產品概述
作為一個提取式氣體取樣系統，MIDAS氣體探測器能在本地或從一個遠程點提取一個樣品到位于探測器機架內的傳感器盒。可以提供較廣范圍的毒氣、可燃氣體和氧氣傳感器盒，以便實現半導體和其他生產工業中使用或產生的氣體探測。
MIDAS®氣體探測器由四部分構成：主機架、安裝托架底座、傳感器盒和機殼。（注：用于 NF3 探測的可選熱解器模塊和用于連接外部 4-20 mA 裝置的可選模擬模塊。）
二、偵測器探頭選型
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描述 |
范圍 |
探頭型號 |
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氨 |
0-100 ppm |
MIDAS-E-NH3 |
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砷化三氫 |
0-0.2 ppm |
MIDAS-E-ASH |
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三氯化硼 |
0-8 ppm |
MIDAS-E-HCL |
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三氟化硼 |
0-8 ppm |
MIDAS-E-HFX |
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溴 |
0-0.4 ppm |
MIDAS-E-BR2 |
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氯 |
0-2 ppm |
MIDAS-E-HAL |
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二氧化氯 |
0-0.4 ppm |
MIDAS-E-BR2 |
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三氟化氯 |
0-0.8 ppm |
MIDAS-E-SF4 |
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二氧化碳 |
0-2.0% vol |
MIDAS-E-CO2 |
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一氧化碳 |
0-100 ppm |
MIDAS-E-COX |
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硼乙烷 |
0-0.4 ppm |
MIDAS-E-HYD |
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二氯甲硅烷 |
0-8 ppm |
MIDAS-E-HCL |
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乙硅烷 |
0-20 ppm |
MIDAS-E-SHX |
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氟 |
0-4 ppm |
MIDAS-E-HAL |
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鍺烷 |
0-0.8 ppm |
MIDAS-E-HYD |
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氫 |
0-1000 ppm |
MIDAS-E-H2X |
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氫 |
0-100% LEL1 |
MIDAS-E-LEL |
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溴化氫 |
0-8 ppm |
MIDAS-E-HCL |
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氯化氫 |
0-8 ppm |
MIDAS-E-HCL |
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氰化氫 |
0-20 ppm |
MIDAS-E-HCN |
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氟化氫 |
0-12 ppm |
MIDAS-E-HFX |
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硒化氫 |
0-0.4 ppm |
MIDAS-E-HSE |
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硫化氫 |
0-40 ppm |
MIDAS-E-H2S |
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甲烷 |
0-100% LEL1 |
MIDAS-E-LEL |
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一氧化氮 |
0-100 ppm |
MIDAS-E-NOX |
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二氧化氮 |
0-12 ppm |
MIDAS-E-NO2 |
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三氟化氮 |
0-40 ppm |
MIDAS-E-HFX |
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氧氣 |
0-25% v/v |
MIDAS-E-O2X |
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臭氧 |
0-0.4 ppm |
MIDAS-E-O3X |
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磷化氫 |
0-1.2 ppm |
MIDAS-E-PH3 |
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氯氧化磷 |
0-0.8 ppm |
MIDAS-E-POC |
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硅烷 |
0-20 ppm |
MIDAS-E-SHX |
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硅烷（低級別） |
0-2 ppm |
MIDAS-E-SHL |
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二氧化硫 |
0-8 ppm |
MIDAS-E-SO2 |
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四氟化硫 |
0-0.8 ppm |
MIDAS-E-SF4 |
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四乙基原硅酸酯 |
0-40 ppm |
MIDAS-E-TEO |
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六氟化鎢 |
0-12 ppm |
MIDAS-E-HFX |
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